7 搬送パレットの清掃

搬送パレットをエアブロー集塵。搬送時に異物が搬送部品に付着しないよう、搬送パレットをエアブローして集塵します。2次付着を防ぐことにより、歩留まり率UPに貢献します。

小型なので、装置の中に組み込むことが可能です。
小型でありながら、最大風量7.0㎥、最大静圧2.9Kpaとハイスペックです。